ldi平行---机-ldi---机-迪盛微电子

激光直接成像的优点

　的---具有以下优点;

1)消除了胶片和印制缺陷;

2) 在激光成像系统中，消除或减少了使用的受控环境中温度和湿度对产品的影响。除了节省费用和改进之外，激光直接成像还有许多技术优势，详述如下:

1)分辨率:由于激光光点直径小，ldi激光---机，所以激光直接成像系统改进了分辨率，很容易就可以达到50μm 的性能。随着方法的优化，ldi---机，在40μm 的抗蚀剂中生产35μm 的精细线已成为可能。

将来随着激光直接成像系统进一步改进，可能会实现25μm 的精细线和间距。

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